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 財團法人工業技術研究院 / 量測中心 ITRI / Center for Measurement Standards 展05
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本次展出
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○ AOI設備
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○ 光學系統
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○ 取像系統
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○ 影像分析
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○ 運動控制
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● 其他
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展品資料
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非接觸式片電阻量測模組：非接觸式片電阻量測模組利用電磁原理，藉由電磁場與材料之耦合關係，達成非接觸量測待測物阻抗特性，相較於傳統探針接觸式量測樣品阻抗之方法，具有可避免樣品損傷，量測速度快，能在高速移動下量測待測物片電阻均勻性等優點，可應用於製程線上檢測，回饋製程參數調整。
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展品圖
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基本資料
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地址
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新竹市光復路2段321號
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業務聯絡人
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電子信箱
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陳俊賢
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jim.chen@itri.org.tw
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電話
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傳真
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03-5743718
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03-5722383
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公司介紹
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公司性質
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AOI測試服務/技術顧問
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公司簡介
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量測技術發展中心在標準檢驗局與工業技術研究院的共同推動下，於1985年成立。以提升國內業界產品品質，引領產業發展為目標，量測中心運用多年來累積的專業技術與知識，積極推動標準與技術發展、標準與法定計量技術發展、儀器與感測技術發展、計量驗證與創新應用、醫療器材驗證、以及前瞻感測技術發展。
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AOI主力產品
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1. 光學薄膜厚度量測儀
2. 液晶顯示器Cell Gap量測儀
3. 高光譜儀/微型光譜儀
4. 二維彩色分析儀
5. Win8 & 10觸控面板驗證測試設備
6. 半導體TSV及膜厚量測設備
7. LTPS結晶均勻性檢測設備
8. 自動化霧度量測儀
9. R2R透明材質 2D/3D缺陷檢測系統
10. 差分干涉顯微系統
11. 軸件量測系統
12. 非接觸電阻量測系統
13. 晶圓翹曲量測系統
14. 晶圓凸塊及顯示器光間隙子高度量測系統
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